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場發射掃描電子顯微鏡

簡要描述:蔡司GeminiSEM可助您輕松實現亞納米級分辨率的成像。出色的成像和分析技術更使FE-SEM(場發射掃描電子顯微鏡)如虎添翼。

基礎信息

產品型號

GeminiSEM 560

廠商性質

代理商

更新時間

2025-11-06

瀏覽次數

130
詳細介紹
品牌ZEISS/蔡司應用領域綜合

蔡司GeminiSEM 560

FE-SEM滿足亞納米成像、分析和樣品靈活性的高要求

蔡司GeminiSEM可助您輕松實現亞納米級分辨率的成像。出色的成像和分析技術更使FE-SEM(場發射掃描電子顯微鏡)如虎添翼。我們采用創新的電子光學系統和全新樣品倉設計,不僅操作更加簡便,用途更加靈活多樣,還可為您帶來更高的圖像質量。無需水浸物鏡即可拍攝低于1 kV的亞納米級圖像。探索蔡司Gemini電子光學系統的三種設計:

l分析測試平臺的理想選擇——蔡司GeminiSEM 360

l實現高效分析——蔡司GeminiSEM 460

l表面成像的新標準——蔡司GeminiSEM 560

場發射掃描電子顯微鏡


GeminiSEM 560(場發射掃描電子顯微鏡)全面提升了表面靈敏度、無畸變、高分辨率成像的標準,能夠在低于1kV的條件下輕松成像。還引入了Gemini 3鏡筒及全新的電子光學引擎SmartAutopilot,能在任何工作條件下達到該系列的高分辨率。

? 表面成像的新標準

? 整合專業知識

? 體驗出色的襯度

場發射掃描電子顯微鏡

場發射掃描電子顯微鏡

輕松實現1kV以下成像

? Gemini 3鏡筒在低于1 kV、分辨率低于1 nm的條件下進行無漏磁成像,且無需樣品臺偏壓或單色器。其包含Nano-twin物鏡和全新的電子光學引擎Smart Autopilot。

? 采用全新可變壓力模式和探測系統可獲得非導電物質的圖像:在VP模式下,通過低光毒性樣品交換艙后,將真空敏感樣品放入樣品倉,可確保在保留特征的同時快速獲得結果。

? 利用帶雙EDS端口的全新大樣品倉輕松分析精細樣品。出色的探測器立體角確保您獲得快速、無陰影的成像。

場發射掃描電子顯微鏡

整合專業知識

? 該系統的觀察視野大大增加,從而可以輕松進行簡便的樣品導航。

? 對于要求極為嚴苛的樣品,全新的電子光學引擎Smart Autopilot大幅提升了成像速度。其可以節省時間,讓您無需進行耗時的對焦:此款引擎能夠驅動電子光學系統,放大倍率范圍從小于1倍到高達500,000倍,可全程進行自動對中、校準和聚焦。獲得全新視差自動聚焦也包含在內,全新的自動擺動功能為您在數秒之內提供清晰圖像。

? Python腳本可在三維STEM斷層掃描成像等自動化工作流中使用這些功

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體驗出色的襯度

? 在您設置的工作前提下找到有效點意味著您已經選擇了正確的參數組合,而實現理想圖像的訣竅則是找到該參數組合。Gemini無漏磁技術及其全新的Gemini 3鏡筒可為您呈現理想的參數組合,助您探索新信息。

? 樣品上的磁場小于2 mT,能輕松實現磁疇襯度成像。采用可進行能量選擇的Inlens背散射探測器可執行能量光譜成像,采用環形背散射探測器可執行電子環形光譜成像。

? 使用ZEN Connect將所有數據匯集在一起,細分并報告您的發現。


在低于1kV條件下成像——整合專業知識

Gemini 3光學系統優化了低電壓和極低電壓下的分辨率并實現了襯度增強,確保從1 kV到30 kV的所有工作條件下成像效果可達高分辨率且包含兩個彼此協同運作的組件:Nano-twin物鏡和全新的電子光學引擎Smart Autopilot。此外,它還具有高分辨率電子槍模式和可選的樣品臺減速技術(Tandem decel)。

分辨率模式——讓您看到更多細節

通過兩種模式可獲得SEM圖像的更多細節和更多探測信號。在高分辨率電子槍模式下,電子束色差降低,從而實現了更小的束斑;在樣品臺減速技術模式下,為樣品施加減速電壓,從而可進一步提高1 kV以下的圖像分辨率并增強背散射探測器的檢測效率。

場發射掃描電子顯微鏡

Nano-twin物鏡的優勢:

● 在低電壓和超低電壓下達到亞納米級分辨率,實現更出色的信號探測效率。

● 與標準Gemini物鏡相比,在低電壓下的物鏡像差降低了三倍,從而使樣品上的磁場降低了三倍,約為1 mT。

● 優化幾何結構和靜電場及磁場分布。

● Inlens探測器在低電壓成像條件下的信號得到增強。

● 這些特性提供了在低于1 kV的條件下完成亞納米級成像的能力,而無需將樣品浸入電磁場中。

場發射掃描電子顯微鏡

工作原理:

● Smart Autopilot優化了通過鏡筒的電子軌跡,從而確保了在每個加速電壓下盡可能高的分辨率。

● 該自動功能實現了在整個放大倍率范圍內(從1倍到2,000,000倍)的無縫對準自由切換,并將觀察視野增加了10倍,從而可以在單幅圖像中對13 cm的物體成像。

● 32k×24k的圖像存儲分辨率與新的概覽模式相結合,確保在超大觀察視野內獲得無拼接的像素密度。


工業用顯微鏡解決方案

典型任務與應用

力學、光學或電子組件的失效分析

斷裂分析和金相研究

表面、微觀結構和器件表征

成分和相分布

確定雜質和夾雜物

場發射掃描電子顯微鏡


生命科學中的應用

典型任務與應用

拓撲結構的表征

對敏感、非導電、除氣或低襯度樣品進行成像

細胞、組織等超微結構的高分辨率成像

進行超大面積成像,如連續切片或切面成像

場發射掃描電子顯微鏡

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